中微5nm刻蚀机打入台积电：国产率飙到21% 昨天 10:41
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快科技7月13日消息，美国对华半导体出口管制层层加码，却意外成了国产设备替代的催化剂。中微公司自主研发的5纳米等离子体刻蚀机已批量应用于台积电5纳米及以下先进产线。 详细>>
标签:中微
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